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제목(한글)

미소박막공정에 의해 제작된 계단식 외팔보의 최적설계

제목(영문)

주저자

주상백

공동저자

정성훈,김동균

업적ID

0000112

분야구분

기계

발행기관

대한기계학회

ISI논문구분

SCI

게재지명

대한기계학회지

권

호

수록면

38-42

발행일

1997.09.01

발표국명

한국

Keyword

[AMA압전구동] [계단식 외팔보] [미소박막공정] [최적설계]

등록일

2004-10-12

요약문
마이크로 전기기계 시스템분야에서 생성되는 박막의 내부응력에 대한 수학적 모텔링과 AMA의 압전구동에 대한 유한요소해석을 수행하였다. 즉 디바이스인 계단형 박막보 구조물의 수치적 모델링과 해석, 그리고 최적설계에 관한 것이다. 박막 AMA는 개별적으로 압전구동되는 미소거울 배열을 포함한 새로운 형태의 반사형 광 모듈레이터이다.